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LED基板外延片及芯片缺陷测系统
LED基板外延片及芯片缺陷测系统

 该系统可检测LED基板外延片的镀膜不均匀、亮点、黑色脏污等缺陷,可检测LED芯片电极针痕、电极刮伤、缺失、划痕、斜切、脏污、异色等缺陷。检测精度:1.5um;检测后,会将不合格的芯片的位置反馈给剔除系统。


  • 基本介绍

 该系统可检测LED基板外延片的镀膜不均匀、亮点、黑色脏污等缺陷,可检测LED芯片电极针痕、电极刮伤、缺失、划痕、斜切、脏污、异色等缺陷。检测精度:1.5um;检测后,会将不合格的芯片的位置反馈给剔除系统。